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8英寸“超越摩尔”研发中试线正式启动

经济参考报 中字

9月10日,由上海微技术工业研究院建设的8英寸“超越摩尔”研发中试线正式启动,填补了我国微机电系统智能传感器领域缺乏小批量中间性试验生产线的空白,力求实现我国芯片产业的自主可控。

微机电系统智能传感器,是一种新型传感器,具有小体积、低成本、集成化、智能化等优点。在智能手机、可穿戴设备、消费类无人机等消费电子产品中,微机电系统智能传感器具有极高“出镜率”,几乎每部智能手机至少都有一个微机电系统智能传感器麦克风,高端的智能手机甚至有三个。

传感器位于整个物联网的基础层,是数据采集的入口,也是物联网的基石。据《2016-2017年中国物联网发展年度报告》显示,目前我国约60%的传感器依赖进口,而微机电系统智能传感器几乎全部依赖进口。

中国科协副主席、上海微技术工业研究院创始人王曦院士认为,要摆脱微机电系统智能传感器对进口的严重依赖,实现我国芯片产业的自主可控,当务之急是要建立自主的8寸研发中试线。

8英寸研发中试线厂长游家杰说,我国微机电系统智能传感器科研实力并不弱,没有开发出领先产品是因为中试环节出现了断档。“研发单位做出的原型器件,不能马上投入量产线,必须进行小批量中试,把原型器件优化成可以量产的工艺或产品。以前,国内没有这样的研发中试线,由于试验量有限,大型代工厂不会接这样的小单,许多科研成果都止步于原型器件。”

游家杰介绍说,新建成的研发中试线,目前规定产能是每月生产晶圆3000片左右,后期将达到5000片。“我们可以支撑用户从几百片到上千片的产能需求,小规模订单先在中试线上孵化,一旦前期市场测试成功,就可以把大批量订单转移给大型代工厂,开始规模量产。”

据介绍,该研发中试线拥有高等级微纳加工超净厂房,可全面开展传感器芯片领域新工艺、新器件、新系统研发和小批量生产。目前,研发中试线主要专注于微机电系统智能传感器研发,未来将拓展至“超越摩尔”新型非数字、多元化半导体产品技术的创新。

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