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SilTerra发布CMOS片上压电MEMS超声换能器新平台

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据麦姆斯咨询报道,马来西亚CMOS和MEMS代工服务供应商SilTerra近日发布了用于指纹识别传感和医疗成像应用的CMOS片上压电MEMS超声换能器(piezoelectric micromachined ultrasound transducer, PMUT)平台(PMUT-on-CMOS)。这款独特的工艺平台提供了单片解决方案,在CMOS上集成PMUT。PMUT的构建采用了CMOS兼容的压电材料,及表面微机械加工技术。设计人员可以选择SilTerra任何一种180 nm或130 nm工艺节点的传统CMOS、BCD、RF及超低功耗平台,在其顶部构建PMUT。

该平台由相关的CMOS IP和PDK支持,以实现完整集成的片上系统。其PDK支持可配置的PMUT单元,以满足各种市场应用,例如:用于指纹传感的20 MHz PMUT单元,或用于医学成像的5 MHz PMUT单元。SilTerra的PMUT-on-CMOS平台目前已经可用于原型设计制造。

“我们非常高兴为原型设计制造推出这款创新的工艺平台。该工艺凭借最标准的CMOS工艺模块,我们有信心实现和传统CMOS技术相近的可制造性和缺陷密度。通过提供真正的单片整体解决方案,我们显着地降低了器件寄生效应,还提供了较高的填充系数,”SilTerra传感器和MEMS业务高级副总裁Arjun Kumar Kantimahanti说。

SilTerra发布CMOS片上压电MEMS超声换能器新平台

SilTerra新工艺平台打造的PMUT器件

PMUT-on-CMOS平台的部分主要特性包括基于CMOS的氮化铝基PMUT器件,高达25 MHz的谐振频率,9个额外的掩模层,以在传统CMOS芯片的顶部构建PMUT。

SilTerra还提供MEMS-on-CMOS技术,使MEMS设计人员能够构建单个MEMS芯片解决方案,相比传统的双芯片解决方案,能够以更低的封装成本提供更好的产品性能。该公司拥有最先进的CMOS设备,专业提供MEMS-on-CMOS表面微加工MEMS器件。

SilTerra发布CMOS片上压电MEMS超声换能器新平台

SilTerra新工艺平台打造的PMUT器件(实际硅视图)

SilTerra是一家CMOS和MEMS代工服务供应商,提供CMOS逻辑器件、高压、混合信号、RF、BCD、功率、硅光子以及低至90 nm特征尺寸MEMS器件的制造和设计支持服务。SilTerra晶圆厂的设计产能为每月46000片8英寸晶圆,目前为美国、台湾、韩国和中国的客户提供服务。

SilTerra于2001年开始商业化生产,其工厂位于马来西亚的Kulim高科技园区,并在美国加州圣何塞和台湾新竹设有销售和营销办事处。

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